×

Автор РИД: Просников Михаил Алексеевич

Показаны записи 1-1 из 1.
13.01.2017
№217.015.6d92

Способ получения металлических пленок заданной формы

Изобретение относится к электронно-лучевой технологии и может быть использовано в оптике, фотонике, интегральной оптике, наноплазмонике и электронике. Способ получения металлических пленок заданной формы заключается в том, что на подложку с высоким электрическим сопротивлением предварительно...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002597373
Дата охранного документа: 10.09.2016
+ добавить свой РИД