Автор РИД: ЛЕУВЕНСТЕЙН Адриан (NL)

Настоящее изобретение относится к ячейке (10) емкостного микрообработанного преобразователя предварительно прижатого типа, содержащей подложку (12) и мембрану (14), покрывающую полную мембранную область (А), при этом между мембраной (14) и подложкой (12) образована полость (20), мембрана (14)...