×

Автор РИД: Дашкевич С.Н.

Показаны записи 1-1 из 1.
27.08.2016
№216.015.4fda

Вакуумный фоторезист

Применение соединений общей формулы где M - HH (a); Zn (б); Co (в); A - -C(CH); R=R-H (1) A - -C(п-трет-BuCH-); R=R-H (2) A - N; R - H, R - трет-Bu (3) A - -C(CH), RR - -CH=CH-CH=CH- (4) A = -C(α-Nf)RR=-CH=CH-CH=CH- (5) A - -C(CH); RR-C-(=CH-)CH(6) в качестве вакуумных фоторезистов.
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0001314836
Дата охранного документа: 27.08.2016
+ добавить свой РИД