Автор РИД: ВИДРИГ,Бено (CH)

Изобретение относится к получению на подложке слоя на основе диоксида циркония. Применяют реактивное дуговое распыление с пульсирующим током искрового разряда и/или приложением ортогонального искровой мишени магнитного поля. Для получения слоя используют смешанную мишень, включающую...