КИНГМА Аренд Йоукэ (DE). Список авторских работ.

Автор РИД: КИНГМА Аренд Йоукэ (DE)

Показаны записи 1-1 из 1.

12.01.2017

№217.015.620e

Водная полирующая композиция и способ химико-механического полирования подложек, содержащих пленки на основе оксидкремниевого диэлектрика и на основе поликремния

Изобретение относится к новым водным полирующим композициям, которые особенно подходят для полирования полупроводниковых подложек, содержащих пленки на основе оксидкремниевого диэлектрика и поликремния, необязательно содержащих пленки на основе нитрида кремния. Композиция содержит (A)...

Тип: Изобретение

Номер охранного документа: 0002588620

Дата охранного документа: 10.07.2016

Показать авторов и правообладателей