Автор РИД: РИТТИГ Франк (DE)

Настоящее изобретение относится к разветвленным сложным полиэфирам с сульфонатными группами и их применению. Описаны разветвленные сложные полиэфиры с сульфонатными группами, получаемые путем: а) превращения компонентов А, В, необязательно С и необязательно D в разветвленные сложные...

Изобретение направлено на новую полирующую композицию, которая особенно хорошо подходит для полирования подложек, имеющих структурированные или неструктурированные диэлектрические слои с низкой или ультранизкой диэлектрической постоянной. Водная полирующая композиция содержит (A) абразивные...