Автор РИД: КРАССНИТЦЕР ,Зигфрид (AT)

Изобретение относится к способу нанесения покрытия на подложку путем напыления с конденсацией из газовой фазы в условиях вакуума и источнику материала для нанесения покрытия. Источник содержит мишень, имеющую переднюю и заднюю стороны и элемент крепления мишени с каналом охлаждения....

Изобретение относится к дуговому устройству для испарения материала при обработке подложки. Устройство содержит катод, анод, источник напряжения для создания на аноде положительного потенциала относительно катода. Устройство также содержит магнитные элементы, которые формируют магнитное...