×

Автор РИД: Губский Константин Леонидович

Показаны записи 1-1 из 1.
20.06.2016
№217.015.0477

Интерферометр для измерения линейных перемещений сканера зондового микроскопа

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для измерения линейных перемещений по трем взаимоортогональным осям. Интерферометр содержит одночастотный лазер, коллиматор для ввода излучения в транспортное волокно, коллиматор, вводящий излучение в оптическую схему,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002587686
Дата охранного документа: 20.06.2016
+ добавить свой РИД