×

Автор РИД: ЛАУТЕР Михаэль (DE)

Показаны записи 1-4 из 4.
17.02.2018
№218.016.2dc1

Композиция для химико-механической полировки (смр), содержащая неионное поверхностно-активное вещество и карбонатную соль

Изобретение относится к композиции для химико-механической полировки (СМР). Композиция содержит (А) неорганические частицы, органические частицы или их смесь, или их композит, где частицы находятся в форме кокона, (В) амфифильное неионное поверхностно-активное вещество на основе...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002643541
Дата охранного документа: 02.02.2018
20.01.2018
№218.016.1a1e

Композиция для химико-механической полировки (смр), содержащая неионное поверхностно-активное вещество и ароматическое соединение, содержащее по меньшей мере одну кислотную группу

Изобретение по существу относится к композиции для химико-механической полировки (СМР). Композиция содержит: (А) неорганические частицы, органические частицы, или их смесь, или их композит, где частицы находятся в форме кокона, (В) амфифильное неионное поверхностно-активное вещество...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002636511
Дата охранного документа: 23.11.2017
19.01.2018
№218.016.0922

Композиция для химико-механического полирования (смр), содержащая белок

Изобретение относится к композиции для химико-механического полирования (СМР) и ее применению при полировании подложек полупроводниковой промышленности. Композиция содержит частицы оксида церия, белок, содержащий цистеин в качестве аминокислотной единицы, и водную среду. Композиция проявляет...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002631875
Дата охранного документа: 28.09.2017
10.04.2016
№216.015.2d8a

Композиция для химико-механической полировки (хмп ), содержащая неорганические частицы и полимерные частицы

Изобретение относится к композиции для химико-механической полировки, применяемой при изготовлении интегральных схем и микроэлектромеханических устройств. Композиция содержит (А) по меньшей мере один тип неорганических частиц, которые диспергированы в жидкой среде (В), (Б) по меньшей мере один...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002579597
Дата охранного документа: 10.04.2016
+ добавить свой РИД