Автор РИД: Данилов Юрий Валентинович

Использование: для контроля площади металлизации трехмерных структур. Сущность изобретения заключается в том, что электрод сравнения, содержит структуру, на поверхность которой предварительно нанесен токопроводящий рисунок, состоящий из элементов простой геометрии различной формы и размеров,...