×

Автор РИД: Ушков Александр Викторович

Показаны записи 1-2 из 2.
27.04.2016
№216.015.3901

Способ защиты углов трёхмерных микромеханических структур на кремниевой пластине при глубинном анизотропном травлении

Использование: для изготовления трехмерных микромеханических структур на кремниевой пластине. Сущность изобретения заключается в том, что способ защиты углов трехмерных микромеханических структур на кремниевой пластине с кристаллографической ориентацией (100) при глубинном анизотропном...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002582903
Дата охранного документа: 27.04.2016
Показать авторов и правообладателей
20.11.2015
№216.013.91f1

Способ защиты углов трехмерных микромеханических структур на кремниевой пластине при глубинном анизотропном травлении

Использование: для изготовления микроэлектромеханических структур. Сущность изобретения заключается в том, что способ защиты углов трехмерных микромеханических структур на кремниевой пластине с кристаллографической ориентацией (100) при глубинном анизотропном травлении в водном растворе...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002568977
Дата охранного документа: 20.11.2015
Показать авторов и правообладателей
+ добавить свой РИД