Автор РИД: Шевченко Евгений Федорович

Изобретение относится к технике напыления тонких пленок. Вакуумная установка напыления пленок содержит основную вакуумную камеру с зоной обработки подложек и вакуумную камеру абляции, герметично соединенную с основной вакуумной камерой в зоне обработки подложек посредством выходного патрубка,...

Изобретение относится к электротехнике альтернативных источников энергии, в частности к устройствам для генерирования электрической и тепловой энергии путем преобразования энергии светового излучения, и предназначено для использования в конструкциях солнечных панелей. Сущность изобретения...