×

Автор РИД: Стенин Василий Васильевич

Показаны записи 1-1 из 1.
27.06.2015
№216.013.5851

Способ и устройство карботермического получения кремния высокой чистоты

Изобретение относится к области получения кристаллического кремния. Способ включает термическое восстановление кварцитов до элементарного кремния с помощью восстановительной газовой смеси с использованием плазмы, при этом процесс ведут одностадийно во встречных потоках кварцитов и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002554150
Дата охранного документа: 27.06.2015
+ добавить свой РИД