Автор РИД: ЭРЛЭМ Мэтью Р. (US)

Изобретение относится к процессу для сортировки частиц, к процессу для квалификации автоматизированной системы для инспектирования и сортировки частиц путем ввода заданного количества зернистых частиц в поток обработки, а также к производству и квалификации зернистых частиц, имеющих, по меньшей...