Автор РИД: Котомина Валентина Евгеньевна

Изобретение относится к электронной технике СВЧ, а именно к способам изготовления СВЧ-компонентов сложной формы, имеющих развитую металлическую рабочую поверхность. Способ включает процесс создания посредством 3D-печати пластиковой оправки, этапы очистки, травления, сенсибилизации и активации...

Изобретение относится к технологии изготовления резистных масок в производстве микросхем, в частности изготовления резистных масок с расширенным диапазоном разрешения изображений. Технический результат изобретения - разработка способа изготовления резистной маски позитивного типа с расширенным...

Изобретение относится к взрывной фотолитографической технологии и может быть использовано, когда получение рабочего рисунка из активного материала (металла или полупроводника) методами избирательного химического или плазмохимического травления через фоторезистную маску затруднено или...

Группа изобретений относится к способам, предназначенным для изготовления полупроводниковых приборов на твердом теле с использованием светочувствительных составов, например фоторезистов, содержащих диазосоединения в качестве светочувствительных веществ, а именно к способам формирования...