×

Автор РИД: Салтуганов Павел Николаевич

Показаны записи 1-1 из 1.
20.05.2015
№216.013.4b9a

Способ формирования микроструктурированного и высокодопированного слоя на поверхности кремния

Изобретение может быть использовано при изготовлении фоточувствительных элементов солнечной энергетики и приборов ночного видения. Сухую поверхность кремния облучают множественными фокусированными ультракороткими фемто- или короткими пикосекундными лазерными импульсами (УКИ) для её абляционного...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002550868
Дата охранного документа: 20.05.2015
+ добавить свой РИД