Автор РИД: ФРАУНХОФЕР ГЕЗЕЛЬШАФТ ЦУР ФЁРДЕРУНГ ДЕР АНГЕВАНДТЕН ФОРШУНГ Е.В. (DE)

Способ изготовления кремниевого солнечного элемента с избирательным эмиттером согласно изобретению включает в себя следующие операции, проводимые в указанном порядке: создание двумерного эмиттера на эмиттерной поверхности подложки солнечного элемента; нанесение барьера травления на первые...

Изобретение относится к установке и способу нанесения покрытия на подложку. Установка содержит вакуумную камеру, во внутреннем пространстве которой располагают подложку для нанесения на нее покрытия и по меньшей мере одну распыляемую мишень, и устройство для определения износа распыляемой...