×

Автор РИД: Касимкин Павел Викторович

Показаны записи 1-1 из 1.
27.04.2015
№216.013.45f3

Способ регулирования площади поперечного сечения кристалла в процессе его выращивания вытягиванием из расплава

Изобретение относится к автоматизации в химической и полупроводниковой промышленности. Площадь поперечного сечения кристалла регулируют в процессе его выращивания вытягиванием из расплава с помощью механизма вытягивания с управляемым приводом в ростовых установках, имеющих датчик веса кристалла...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002549411
Дата охранного документа: 27.04.2015
+ добавить свой РИД