Автор РИД: Ходос Игорь Иванович

Изобретение относится к области химии и может быть использовано при изготовлении приборов наноэлектроники, оптоэлектроники, сенсоров, фотовольтаики, а также для хранения энергии. На изолирующую подложку осаждают пленку алюминия толщиной 1-100 нм, напыляют на неё пленку переходного металла,...