Автор РИД: Дубинин Дмитрий Александрович

Изобретение относится к области нанотехнологии и может быть использовано в автоматизированных транспортных системах передачи и позиционирования образца в вакууме и контролируемой газовой среде. Устройство содержит средство захвата образца и механизм его перемещения, носитель образца в виде...