×

Автор РИД: СНИГИРЕВА Ираида Ивановна (FR)

Показаны записи 1-1 из 1.
27.09.2014
№216.012.f90b

Способ электрохимической рентгеновской бесконтактной литографии

Изобретение относится к области нанотехнологии, описывает способ электрохимического структурирования поверхности материалов и может быть использовано при изготовлении элементов микроэлектроники, однослойных и многослойных печатных плат, оптических элементов, а также других тонкопленочных...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002529592
Дата охранного документа: 27.09.2014
+ добавить свой РИД