Автор РИД: МАНИНИ Паоло (IT)

Изобретение относится к области насосостроения и предназначено для создания сверх высокого вакуума. Комбинированная откачивающая система, содержащая геттерный насос (120; 220) и ионный насос (130; 230). Геттерный насос и ионный насос (120, 130; 220, 230) смонтированы последовательно на одном и...