×

Автор РИД: Черагин Николай Петрович

Показаны записи 1-2 из 2.
27.12.2013
№216.012.918a

Устройство контроля положения объекта нано- и субнанометровой точности

Устройство содержит источник монохроматического излучения, выход которого совмещен с входом одномодового световода, формирующего на выходе точечный источник монохроматического излучения, совмещенный с передним фокусом оптической системы, формирующей параллельный пучок света. Две прозрачные...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002502951
Дата охранного документа: 27.12.2013
27.12.2013
№216.012.918b

Устройство для линейных перемещений с нанометровой точностью в большом диапазоне возможных перемещений

Устройство содержит неподвижную часть, подвижную часть с установленным на ней объектом, источник монохроматического излучения, одномодовый световод, формирующий точечный источник, совмещенный с передним фокусом оптической системы, две параллельные прозрачные пластины, установленные...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002502952
Дата охранного документа: 27.12.2013
+ добавить свой РИД