Автор РИД: Емелин Сергей Евгеньевич

Изобретение относится к плазменной технике и плазмохимии и может быть использовано для плазменной обработки поверхностей, стерилизации, в спектроскопии, а также при создании плазмохимических реакторов и газоанализаторов. Технический результат - повышение стабилизации тлеющего микроразряда при...