ХОРСТМАНН Феликс (DE). Список авторских работ.

Автор РИД: ХОРСТМАНН Феликс (DE)

Показаны записи 1-1 из 1.

20.11.2013

№216.012.827b

Способ получения прозрачного проводящего покрытия из оксида металла путем импульсного высокоионизирующего магнетронного распыления

Прозрачное проводящее покрытие из оксида металла наносят на подложку путем распыления, по меньшей мере, одного компонента покрытия из оксида металла импульсным магнетронным методом и конденсирования его на подложке. Пиковая плотность мощности импульсов магнетрона составляет свыше 1,5 кВт/см,...

Тип: Изобретение

Номер охранного документа: 0002499079

Дата охранного документа: 20.11.2013

Показать авторов и правообладателей