Автор РИД: КОНТЕ Андреа (IT)

Изобретение относится к области насосостроения и предназначено для создания сверх высокого вакуума. Комбинированная откачивающая система, содержащая геттерный насос (120; 220) и ионный насос (130; 230). Геттерный насос и ионный насос (120, 130; 220, 230) смонтированы последовательно на одном и...

Предложена комбинированная насосная система (10), содержащая геттерный насос (12) и ионный насос (13), обеспечивающая создание сверхвысокого вакуума. Геттерный и ионный насосы (12, 13) установлены на одном и том же фланце (11) и расположены на одной и той же стороне фланца (11) в двух разных...