×

Автор РИД: Беспалов Владимир Петрович

Показаны записи 1-1 из 1.
20.08.2013
№216.012.621f

Микроболометр с упрочненными поддерживающими балками и способы его изготовления

Изобретение относится к технике машинного зрения и может быть использовано в фотоприемных устройствах инфракрасного диапазона. В микроболометре, выполненном в исходной структуре в виде поддерживаемого на термоизолирующих балках над вытравленной полостью термоизолированного участка активного...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002490751
Дата охранного документа: 20.08.2013
+ добавить свой РИД