Автор РИД: Кочанова Елена Владимировна

Изобретение относится к области полупроводниковой техники и может быть использовано, в частности, в технологии изготовления полупроводниковых СВЧ приборов. Техническим результатом изобретения является упрощение способа. Сущность заявляемого изобретения заключается в том, что в способе...