Автор РИД: Подкин Юрий Германович

Использование: для контроля площади металлизации трехмерных структур. Сущность изобретения заключается в том, что электрод сравнения, содержит структуру, на поверхность которой предварительно нанесен токопроводящий рисунок, состоящий из элементов простой геометрии различной формы и размеров,...

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам измерения эквивалентных параметров CG-двухполюсников. Сканирующий измеритель параметров CG-двухполюсников содержит амплитудный детектор, индикаторы проводимости и емкости, интегратор, компаратор, генератор высокой частоты,...