Автор РИД: САИТО Кенити (JP)

Устройство формирования оптического изображения содержит один или несколько детекторов аберрации волнового фронта, предназначенных для получения одной или нескольких аберраций волнового фронта в возвратных пучках, возникающих при сканировании объекта множеством измерительных пучков, и единичный...