Автор РИД: ТАДА Исао (JP)

Изобретение относится к устройству для вакуумной плазменной обработки гибкого обрабатываемого целевого изделия. Камера (15) способна поддерживать состояние вакуума. Первый электрод (18) в форме ролика установлен в камере (15) с возможностью вращения. Электрод (18) имеет часть, с которой гибкое...