×

Автор РИД: Коптяев Сергей Николаевич

Показаны записи 1-3 из 3.
27.04.2016
№216.015.38f1

Оптическая измерительная система и способ количественного измерения критического размера для наноразмерных объектов

Изобретение относится к методикам измерения наноразмерных объектов и более конкретно к оптической измерительной системе и соответствующему способу измерения для определения критического размера (CD) для наноразмерных объектов. Оптическая измерительная система на основе оптического микроскопа...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002582484
Дата охранного документа: 27.04.2016
20.03.2014
№216.012.abe3

Оптическая измерительная система и способ измерения критического размера

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения геометрических параметров нанообъектов. Оптическая измерительная система содержит модуль изменения и контроля параметров оптической схемы и условий освещения; модуль освещения; модуль построения оптического...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002509718
Дата охранного документа: 20.03.2014
10.05.2013
№216.012.3e74

Оптическая измерительная система и способ измерения критического размера наноструктур на плоской поверхности

Изобретение может быть использовано при измерении геометрических параметров нанообъектов путем исследования рассеянного излучения при сканировании объектов. Оптическая измерительная система содержит: оптический модуль освещения и регистрации изображения, модуль управления параметрами оптической...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002481555
Дата охранного документа: 10.05.2013
+ добавить свой РИД