Автор РИД: Волынцев Анатолий Борисович

Использование: для создания функциональных элементов интегральных оптических схем. Сущность изобретения заключатся в том, что способ включает в себя этапы, на которых задают форму и размеры части поверхности подложки, подлежащей воздействию плазмы; обрабатывают заданную часть поверхности...

Изобретение относится к области обеспечения вибрационных и микроклиматических условий и может найти применение в производственных, испытательных и поверочных лабораториях. Технический результат - исключение влияния вибраций на размещаемое в помещении рабочее оборудование, уменьшение...