×

Автор РИД: Русецкий Владимир Александрович

Показаны записи 1-1 из 1.
27.03.2013
№216.012.319d

Способ формирования проводящего элемента нанометрового размера

Изобретение относится к области технологии микроэлектроники и наноэлектроники, а именно к технологии формирования упорядоченных наноструктур на поверхности твердого тела, и может быть использовано для создания проводников, длина которых на несколько порядков превышает его диаметр...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002478239
Дата охранного документа: 27.03.2013
+ добавить свой РИД