Автор РИД: СОНОДА Тохру (JP)

Заявленные изобретения относятся к области изготовления полупроводниковых устройств, в частности к изготовлению сформированной в виде тонкой пленки подложки. Сформированная в виде тонкой пленки подложка в соответствии с настоящим изобретением является сформированной в виде тонкой пленки...