×

Автор РИД: Войнов Олег Георгиевич

Показаны записи 1-1 из 1.
20.02.2013
№216.012.26cb

Способ получения поликристаллического кремния

Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния. Способ включает приготовление парогазовой смеси (ПГС) из хлорсиланов и водорода в испарителе под давлением посредством барботажа водорода через слой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002475451
Дата охранного документа: 20.02.2013
+ добавить свой РИД