Автор РИД: Гуревич Алексей Сергеевич

Изобретение относится к области анализа материалов, тонкопленочных структур и поверхностей с помощью оптических средств. Эллипсометр включает последовательно расположенные вдоль оптической оси источник излучения, плечо поляризатора и плечо анализатора. Причем плечо анализатора выполненно в виде...

Измерение относится к области оптико-физических измерений, а именно к эллипсометрии и поляриметрии. Способ измерения состояния поляризации светового луча включает последовательное пропускание исходного светового луча через непрерывно или пошагово вращаемый первый компенсатор (1), через...