Автор РИД: ФИАККАБРИНО Жан-Шарль (CH)

Изобретение относится к способу изготовления многослойной металлической структуры с помощью ультрафиолетовой литографии и гальванического осаждения. Согласно способу проводящую поверхность подложки покрывают первым слоем фоточувствительной смолы и обрабатывают с помощью излучения через маску,...

Изобретение относится к области гальванопластики и может быть использовано для изготовления деталей с биметаллической микроструктурой. Способ содержит следующие этапы: готовят подложку, на проводящую сторону которой наносят слой фоточувствительной смолы, слой смолы облучают через трафарет с...

Изобретение относится к способу изготовления составного микромеханического компонента, сочетающему процессы глубокого реактивного ионного травления и литографии, гальванопластики и формования. Сущность изобретения: способ изготовления составного микромеханического компонента из кремния и...