13.02.2018
№218.016.2778
Результат интеллектуальной деятельности: СПОСОБ ОБРАБОТКИ ТОНКИХ ПРОВОДЯЩИХ ПЛЕНОК МОП- И МП-СИСТЕМ
Вид РИД
Изобретение
№ охранного документа
0001345956
Дата охранного документа
27.09.2013
Аннотация:
Способ обработки тонких проводящих пленок МОП- и МП-систем путем воздействия на них импульсным электромагнитным полем, отличающийся тем, что, с целью повышения адгезии пленок и снижения разброса ее величины по площади подложки, воздействие осуществляют при следующих параметрах электромагнитного поля:
энергия в импульсе W = Kρ (Дж),
частота
числом импульсов от 1 до 10,
где K = 1,786·10(0,1 - 1,2) Дж/Ом·м и K = 26,79·10(0,1 - 1,0) Гц/Ом - коэффициенты пропорциональности;
ρ - удельное электросопротивление пленки (Ом·м);
S - толщина пленки (м).
Источник поступления информации:
Роспатент
Показаны записи 41-41 из 41.
17.02.2018
№218.016.29e0
Устройство для гидроударной листовой штамповки
Устройство для гидроударной листовой штамповки, содержащее ствол с бойком, рабочую камеру высокого давления с передающей средой и механизм возврата бойка в исходное положение, выполненный в виде кольцевой замкнутой камеры, сообщенной с полостью ствола, отличающееся тем, что, с целью расширения...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0000913647
Дата охранного документа: 20.12.2013
